• 奥林巴斯自动晶圆搬送机AL120-12

    详细信息

     品牌:奥林巴斯  加工定制:否  型号:AL120-12  
     重量:- kg 适用范围:半导体检查显微镜MX61L  用途:半导体检查  
     外形尺寸:- mm 材质:-  规格型号:-  
    AL120-12自动晶圆搬送机对应可使用FOUP(装载口)和FOSB,适用于低成本的后期检查。安全且符合人体工程学的设计确保了操作人员在搬送晶圆时(包括薄晶圆和变形晶圆)的效率和安全。
    奥林巴斯 自动晶圆搬送机 AL120-12概述:
    ★人机工程学设计,操作方便
    ●可以自由设置的检查模式,在设计上考虑了后道工程中的操作性,尤为重视设备的操作简便性。
    ●分别对应FOUP(Load Port)和FOSB的两种机型。
    ★坚固、可靠和安全传送
    ●延续了上一代机型的坚固性、可靠性和安全性,能够安全可靠的传送300 mm晶圆。
    ●薄片,Warped晶圆皆能安全搬送。
    ●宏观观察位置的z*优化和操作单元的集中排列,提高了设备的操作舒适性。
    奥林巴斯 自动晶圆搬送机 AL120-12技术规格:
    自动300 mm晶圆搬送机 AL120-12 规格
      AL120-LMB12-LP3 AL120-LMB12-F
    晶圆尺寸 300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可选:200 mm
    卡盒 ●FOUP(Front Opening Unified Pods)前开门标准夹 
    ●SEMI:E47.1-0200规格产品 
    ●FIMS-FOSB, FOSB
    ●FOSB(Front Opening Shipping Box)前开门搬运盒 
    ●SEMI:M31-0999规格产品
    卡盒数 单盒(装载、卸载兼用)
    卡盒设置高度 900 mm
    装载端口
    搬运顺序 表面宏、内面宏、显微镜检查
    检查模式 全部检查、抽样检查
    晶圆校准 非接触式中心环
    晶圆搬运方式 真空吸附机械搬运
    适用显微镜 半导体检查显微镜MX61L
    应用环境 AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 
    真空-67~-80 Kpa 
    压缩空气0.5MPa~0.6MPa
    AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 
    真空-67~-80 Kpa
    载物台 XY手动吸附载物台,有XY粗调/微调和360度旋转机构
    重量(不包括显微镜) 约360 kg 约270 kg
     
     
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